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光刻机“卡脖子”要破了?新凯来芯展放大招,国产设备集体亮剑

新闻动态 点击次数:144 发布日期:2025-10-25 23:39

10月15日,深圳湾将迎来一场改写中国半导体命运的展会。当“芯启未来,智创生态”的主题牌挂起,新凯来——这家被称为“深圳版中芯+北方华创”的企业,带着“意想不到的惊喜”登场。这不是普通的新品发布会,而是中国半导体设备从“跟跑”到“并跑”的实力宣言:23家产业链公司的技术突破,正把曾经的“卡脖子”清单,变成“中国方案”的成绩单。

一、芯展:为什么这场展会非比寻常?

2025年湾区半导体芯片展,是国内半导体设备领域的“年终大考”。主题“芯启未来,智创生态”背后,藏着中国半导体产业的野心:不再依赖进口设备,而是用自主技术构建完整生态。新凯来是这场展会的绝对主角——这家聚焦光刻机、刻蚀、量测等“卡脖子”环节的企业,今年3月刚发布30余款国产化率100%的设备,如今又要带来“惊喜”。

为什么新凯来被寄予厚望?看看它的定位:“深圳版中芯+北方华创”。中芯国际是芯片制造龙头,北方华创是设备巨头,新凯来要做的,是把二者的优势捏合起来,在最核心的设备领域实现突破。更关键的是,它不是孤军奋战——23家上市公司组成的“朋友圈”,覆盖了从光刻机光学镜头到光刻胶、从刻蚀设备到测试仪器的全产业链,每一家都握着“独门绝技”。

二、从“卡脖子”到“杀手锏”:23家公司的硬核突破

1. 光刻机:撕开28nm制程的口子

光刻机被称为“半导体工业皇冠上的明珠”,而新凯来要啃的,正是这块硬骨头。奥普光电的合资公司长光集智,已经拿出了物镜数值孔径0.75的曝光系统,直接支持28nm制程——这意味着,当ASML还在对EUV光刻机设限,中国企业已经在成熟制程站稳脚跟。更让人期待的是,本次展会可能披露EUV光源协作进展,一旦突破,将填补国内空白。

光学系统是光刻机的“眼睛”,茂莱光学的深紫外镜头透过率超99.8%, wavelength光电的大孔径镜头NA值达0.75,两者联手,为新凯来的光刻机提供高精度成像能力。华卓精科的双工件台运动精度±2nm,支持28nm以下制程,若展会官宣合作,将彻底打破国外对光刻机运动平台的垄断。

2. 刻蚀与PVD:从“能用”到“好用”

刻蚀设备是芯片制造的“雕刻刀”,北方华创的5nm刻蚀机已经进入验证阶段,而新凯来在PVD领域与北方华创形成差异化竞争,共享中芯扩产红利。强瑞技术的精密结构件平面度误差<1μm,耐高温达300℃,为刻蚀设备提供稳定的传动模组——设备运行稳不稳,就看它的“骨架”扎不扎实。

靶材是PVD设备的“弹药”,江丰电子的靶材纯度达99.9999%,覆盖7nm以下工艺,全球市占率前五。更关键的是,它与新凯来PVD设备深度绑定,HBM封装靶材需求激增,台积电CoWoS供应链名单显示其份额超20%——这意味着,不仅国内认可,国际巨头也在用中国靶材。

3. 清洗设备:纯度就是生命线

芯片制造中,清洗设备的纯度直接决定良率。至纯科技是国内唯一能做单晶圆+槽式清洗设备的企业,14nm设备通过中芯验证,硫酸回收技术每年能省160万美元/台——既解决了“有没有”的问题,又做到了“成本更低”。国林科技的臭氧发生器纯度99.999%,打破日美垄断,配套新凯来湿法设备,在深圳补贴政策下,订单弹性巨大。

4. 材料:光刻胶与靶材的“纯度竞赛”

光刻胶是芯片制造的“涂料”,彤程新材的ArF光刻胶分辨率≤15nm,打破JSR垄断,SAQP四重曝光专用胶通过中芯14nm验证;南大光电的ArF光刻胶用于28nm及以下制程,图形转移良率≥95%——两家企业联手,让新凯来的SAQP工艺有了“中国材料”托底。若展会披露5nm光刻胶突破,将直接冲击国际市场。

靶材领域,江丰电子的99.9999%纯度靶材覆盖7nm以下工艺,全球市占率前五;天岳先进的碳化硅衬底缺陷密度<0.5/cm²,供货特斯拉、比亚迪,与新凯来EPI设备协同生产SiC外延片——这些材料不仅“纯”,还能适配先进制程,真正实现了从“跟跑”到“并跑”。

5. 测试与检测:用“火眼金睛”守住质量关

芯片造出来,还得经过严格测试。同惠电子的精密测试仪器精度达0.001fA,长期为新凯来提供晶圆电性测试仪;精智达的DRAM测试设备覆盖HBM3,在长鑫存储的产线中占比30%——HBM是AI时代的“内存核武器”,精智达的突破,直接保障了国内HBM产线的良率。

万里眼的超低底噪示波器,128通道同步采样能力满足先进制程检测需求,而它背后是福晶科技的激光晶体——全球市占率超60%的BBO晶体,损伤阈值达10GW/cm²,寿命比国际竞品长20%,为新凯来的ALD设备提供稳定激光源。

三、国产化不是孤军奋战:产业链协同的力量

新凯来的“朋友圈”能如此强大,离不开产业链的协同。深纺织A与新凯来同属深圳重大产业投资集团控股,共享国资资源池,本次展会可能披露新型显示材料与芯片封装的协同项目——这就是“国企+民企”的合力。新莱应材作为高洁净管阀件龙头,2024年给新凯来的订单占比超30%,深圳的设备补贴政策,直接让它的份额进一步提升。

政策红利也在加力。深圳对半导体设备的补贴,让国林科技、至纯科技等企业的订单弹性倍增;北方华创与新凯来在PVD领域的差异化竞争,反而形成了“中国设备”的整体优势,共享中芯扩产红利。这种“既竞争又合作”的生态,正是中国半导体产业的底气所在。

四、全球半导体格局改写:中国芯的下一个十年

这场芯展,不止是技术的展示,更是中国半导体产业链从“点突破”到“链成群”的里程碑。当新凯来的30余款设备实现100%国产化,当23家公司的技术参数比肩国际巨头,我们看到的是:中国半导体不再依赖“拿来主义”,而是用自主技术构建了“安全网”。

更重要的是,这些突破不是实验室里的样品,而是能批量生产、走向市场的产品。新莱应材的管阀件服务5nm制程,凯美特气的光刻气通过ASML认证,江丰电子进入台积电CoWoS供应链——国际市场的认可,才是硬实力的证明。

未来十年,随着新凯来及产业链企业的技术迭代,中国半导体设备的国产化率将从“个别突破”走向“全面开花”。当28nm、14nm甚至更先进制程的设备实现自主可控,全球半导体的话语权格局,必将改写。

10月15日,深圳湾的这场芯展,不仅是一场技术秀,更是中国半导体产业的“成人礼”。新凯来和它的23家伙伴,正用一个个“99.999%的纯度”“±2nm的精度”,告诉世界:中国芯,来了。

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